Langmuir靜電探針法是對低壓下等離子體進行診斷的最常用方法。NE-LPA型探針系統是NE-LP系列朗繆爾探針系統的單探針型號。NE-LP系列朗繆爾探針系統基于虛擬儀器原理設計，具有硬件結構簡單、可靠性強、抗擾動能力強等優點。朗繆爾探針結構相對簡單，可以獲得多種等離子體參數(如電子溫度、電子密度、等離子體電位、懸浮電位、電子能量分布函數等)，通過朗繆爾探針陣列可以獲得等離子體的空間分布情況。
系統硬件構成 ：
NE-LPA型探針系統硬件由探針、驅動采集單元和計算機構成（圖1）。其中，驅動采集單元一端通過USB接口與計算機連接，另一端有電纜與探針連接，其作用一是按照計算機的指令生成掃描信號，放大后為探針提供偏置，二是采集探針的電壓電流值并輸入計算機。
圖一
產品特點：
1.便攜式低功耗設計，USB供電，移動使用方便；
2.抗干擾能力強，工作穩定，特別適用于常見的等離子體放電不穩定和電磁干擾環境；
3.軟件人機界面友好，參數設置靈活，自動化程度高；
4.支持時間分辨測量，可任意設置測量的時間分辨率和測量時間窗口，最高測量時間分辨率達12.5ns。
主要性能參數：
偏置電壓(V)： -90-90，范圍內任意可調，可擴展至+/-530V
掃描步長(V)：0.1—1 0.5， 范圍內任意可調
采樣率(ks/s)：250
采樣數(每點)：1—2000，典型值500，范圍內任意可調
測量時間分辨率:12.5ns,范圍內任意可調
診斷功能及應用范圍：
等離子體密度(cm-3)：106—1012 典型值109~1011
電子溫度(eV)：可測
等離子體電位(V)：可測
懸浮電位(V)：可測
電子能量分布函數：可測
配置：
單探針組件、驅動采集單元、單探針軟件、手動真空直線驅動器、替換用探針（10根普通探針）
朗繆爾探針法是最常用的低溫等離子體診斷方法。由于其擁有結構簡單以及辨別率優越的特點，使得其在科研與工業應用中得到了廣泛的應用。其主要工作原理是：構件金屬電極在工作時被插入到等離子體內部，通過對電極附近靜電場與等離子體的相互作用而引起的電荷變化的分析，可以測量出等離子體的伏安特性曲線。然后通過分析伏安特性曲線可以清楚地得到等離子體內部的電子密度、電子能級分布、電勢以及電位等特征參數。
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