真空等離子清洗設備工作原理及其結構組成介紹

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2024-10-09

真空等離子清洗設備可在真空環境下通過對氣體施加較高能量使其轉化為等離子狀態，組成等離子狀態的活性組分有離子、電子和活性基團等，這些活性組分對試件表面進行“轟擊”，起到表面清潔、改性等作用。以下是關于它的詳細介紹：

真空等離子清洗設備工作原理：

在真空環境下，向腔體內通入氣體（如氬氣、氧氣、氮氣等），然后通過高頻電場使氣體分子電離，形成等離子體。等離子體中包含大量的活性粒子，如離子、電子、自由基、激發態的原子和分子等。這些活性粒子具有很高的能量，能夠與材料表面發生物理和化學反應，從而實現對材料表面的處理。

結構組成：

真空發生系統：負責抽取腔體內的空氣，創造并維持所需的真空環境，通常由真空泵等設備組成。

真空反應系統：即處理腔體，是進行等離子體處理的主要場所，其材質和尺寸會根據不同的應用需求而有所不同，常見的有不銹鋼腔體、鋁合金腔體和石英腔體。

人機界面工控系統：方便操作人員設置和監控處理過程的參數，如處理時間、功率、氣體流量等，一般采用觸摸屏。

等離子體發生器：產生高頻電場，使氣體電離形成等離子體，其頻率等參數是影響等離子體特性的重要因素。

氣路控制系統：用于控制氣體的通入量、種類以及氣體的切換等，確保等離子體處理過程中氣體的供應穩定和準確。

機架：起到支撐和固定其他部件的作用，保證設備的穩定性。

真空等離子清洗設備優點：

處理效果好：能夠有效去除材料表面的微小污染物、氧化物和有機殘留物等，同時可以改善材料的表面性能，如提高表面能、增強附著力、改善潤濕性等。

環保無污染：處理過程中不使用化學溶劑，不會產生廢水、廢氣等污染物，符合環保要求。

適用范圍廣：適用于各種材料，包括金屬、陶瓷、塑料、玻璃等，并且對材料的形狀和尺寸沒有嚴格限制，無論是平面、曲面還是復雜的三維結構都可以進行處理。

處理溫度低：可以在較低的溫度下進行處理，尤其適用于對熱敏感材料，避免了因高溫處理而導致材料性能的變化。

可控性強：可以精確控制處理參數，如處理時間、功率、氣體流量等，從而實現對處理效果的精確控制。

常見應用領域：

電子行業：在半導體制造中，可用于芯片的清洗、光刻膠的去除、表面活化等，提高芯片的性能和可靠性；在電路板制造中，能夠去除電路板表面的污染物，增強焊錫的附著力。
汽車行業：用于汽車零部件的表面處理，如點火線圈骨架的清洗、發動機油封片的表面改性等，提高零部件的粘接強度和密封性。
生物醫療領域：可以處理醫療器械、生物材料等，提高其表面的親水性、生物相容性。
包裝印刷行業：對包裝材料進行表面處理，提高印刷的附著力和包裝的密封性。