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小型微波等離子清洗機NE-MW05

  • 產品型號：NE-MW05
  • 性能特點：無電極污染，無損傷清洗
  • 產品用途：去膠，清洗
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  • 產品參數(shù)
小型微波等離子清洗機是一種高效的表面清潔改性設備。它利用微波激發(fā)等離子體，對材料表面進行清洗，其清洗過程快速且效果顯著，能有效去除材料表面的有機物、氧化物等雜質，提高表面親水性和粘附性。

微波放電是將微波能量轉換為氣體分子的內能,使之激發(fā)、電離以至產生等離子體的一種氣體放電形式。采用微波放電時,微波源產生的微波通過波導傳輸?shù)秸婵涨惑w內,通過模式耦合,將能量傳給放電氣體。氣體中存在的少量電子被微波電場加速后與氣體分子發(fā)生非彈性碰撞并使氣體電離,在微波輸出功率比較適當?shù)臈l件下,使氣體擊穿實現(xiàn)持續(xù)放電,由此而產生微波等離子體。

微波等離子體具有以下特點:

1、 微波激發(fā)等離子體比較容易,能量的轉化率高，,95%以上微波功率可以轉化為等離子體能量;
2、由于微波等離子體是通過無極放電產生的,因此可以獲得純凈的等離子體;
3、等離子體密度及電離度高;
4、微波等離子體激發(fā)的反應物基團活性很高；
5、微波等離子減少了高能離子對基體表面的損傷;

設備用途：
1、半導體芯片封裝基材的清洗和芯片封裝前的預處理
2、晶圓掃底膜、去膠、活化
3、MEMS制造中去除犧牲層
4、材料表面清潔、活化、改性
型號 NE-MW05
電源頻率 2.45Ghz
等離子發(fā)生器功率 1000W
腔體材質 石英玻璃
腔體容積 5L
腔體尺寸（圓形） Φ160×260（D）mm
有效處理范圍 145（W）*260(D)mm
氣體流量控制器 0-500 SCCM
氣路數(shù)量 2路氧氣、氬氣等
外形尺寸 730mm(L)×584mm(W) ×382 mm(H)
電源供應 220V

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