60L真空等離子清洗機NE-PE60F

產品型號：NE-PE60F
性能特點：全自動操作，處理均勻性好
產品用途：表面的油污清洗、氮氧化物、光刻膠去除、聚合物改性

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產品介紹
產品參數

真空等離子清洗機是通過控制由密閉腔室連接真空泵、RF電源和進氣控制的裝置系統產生的等離子體，通過化學或物理作用對放置在電極(正極和負極)和非電極(懸浮極)載物托盤上的工件表面進行納米級處理，實現分子水平的多余材料和沾污去除，改善工件表面極性性能，為下步工藝做好基礎的工藝過程設備。被清除的材料和沾污可能有:有機物如玻璃表面的油污、環氧基聚合物、氧化物如氧化銀等、氮氧化物、光刻膠，焊料殘余、金屬鹽等。對應不同的基材及沾污，應采用不同的清洗工藝:工藝氣體種類及流量控制如氧氣、氬氣、氯基氣、氫氣等。
等離子清洗機

真空等離子清洗機產品特點：

♦射頻電源功率選擇為0到600W可調，頻率選擇為13.56MHz，同時采用電源匹配系統來調節負載阻抗，以保證最佳的等離子密度和可重復性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負極連通，電極板由兩側的絕緣塊固定在真空腔體中，整個電極系統可跟據不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦供氣系統采用高精度流量計來精確調節工作氣體的流量，同時采用高穩定性的真空泵來實現廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩定性、高效的功率輸出、緊湊的結構設計、體積小、重量輕、完善的保護功能等特點。
♦前設開門，后方開排氣孔、電源線孔，側面開進氣孔，以便于形成動態循環、均勻進氣提高清洗的效果。
♦兩路獨立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強、低溫情況下的強度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。

真空等離子清洗機清洗原理：

等離子清洗是依靠特定物質等離子體中的高能粒子流沖擊需要清潔的物體表面，產生物理沖擊（如氬等離子體）或化學反應（氧等離子體）來實現去除物體表面污漬的功能。

以氧氣等離子體去除物體表面油脂污垢為例，等離子體對油脂污垢的作用，類似于使油脂污垢發生燃燒反應，但不同之處是在低溫情況下發生的"燃燒"。其基本原理:氧氣等離子體中的氧原子自由基、激發態的氧氣分子、電子以及紫外線的共同作用下，油脂分子最終被氧化成水和二氧化碳分子，并從物體表面被清除。

真空等離子清洗機產品應用：

真空等離子清洗機的應用例子極為廣泛，集成電路生產工藝需求，前期芯片制造，后期封裝及混合電路等的可持續發展;陶瓷、石英、高分子工程塑料等表面納米級的活化改性，由非極性到帶有一層納米級的極性材料表層，以提高材料表面物理和化學的粘接印刷涂覆上漆性能，最貼近生活化的如制鞋業的工藝生產需求，連接器上logo的印刷等;LCD液晶顯示屏表面有機物干擾材料的去除;金屬表層氧化物的去除等。

項目	型號規格	參數
等離子體發生器	功率	0-500W可調
	頻率	40KHz/13.56MHz
	抗輻射干擾高頻匹配器	自動抗阻匹配，遠程通信控制
真空反應腔室	腔體內部尺寸	400370450（寬高深）
	腔體容積	66L
	材質	不銹鋼/鋁合金
	電極層數	5層
	工作托盤	標配一套，材質可選（鋁絲，鋼絲網）
	電極板分布方式	平板電極，可靈活抽取
控制系統	系統控制	PLC
控制系統	觸摸屏	七寸觸摸屏
氣體系統	氣體通道	標配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮氣等）
氣體系統	氣體流量控制	MFC氣體質量流量計
外觀參數	外形尺寸	90510701740